Strahlschreiben

Strahlschreiben,

 

Halbleitertechnik: Verfahren der Lithographie, bei denen die Struktur eines integrierten Bauelements (integrierte Schaltung) mittels rechnergesteuerter Teilchenstrahlen (Elektronen oder Ionen) direkt auf die Halbleiterscheiben (Wafer) übertragen wird. Vorteilhaft bei diesem Verfahren sind die Möglichkeit der Erzeugung kleinster Strukturen und die Flexibilität hinsichtlich Änderungen der zu übertragenden Strukturen; von Nachteil gegenüber der Maskentechnik ist ein größerer Zeitbedarf.